高科技或是高潔度的產品與企業，會需要建造高規格的無塵室設備，注意空間內的微塵、濕度、溫度、光線等等，符合無塵室規範，以及潔淨室隔間板的衛生清潔規範也需注意，選擇容易清潔的壁面。而你知道無塵室原理是甚麼嗎？業界討論無塵室等級iso及無塵室等級10000各自代表的意義為何？想知道無塵室等級造價等等相關說明，那就跟著本文看下去吧。
無塵室原理以每立方米的顆粒數計算空間的汙染微塵數
無塵室又稱淨室、潔淨室或清淨室，是指一個具有低汙染水準的環境，這裡所指的汙染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發性氣體。更準確說明，一個無塵室具有一個受控的汙染級別，汙染級別可用每立方米的顆粒數，或著用最大顆粒大小來釐訂。
無塵室的定義
將空間範圍內的空氣中微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當潔淨的環境。無塵室被廣泛應用在對環境污染敏感的行業，例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、製藥、和醫院手術室等行業，其中以半導體業對室內的溫度、濕度、潔淨度要求尤其嚴格，必須控制在某範圍內，才不會影響製程。
具備10項因素構成無塵室：
- 去除空氣中飄游之微塵粒子
- 防止產生微塵粒子
- 控制溫度和溼度
- 調節壓力之
- 排除有害氣體
- 結構物與隔間之氣密性
- 防制靜電
- 預防電磁干擾
- 考慮安全因素
- 節能考量
無塵室真的無塵嗎？
無塵室，顧名思義，是指一個幾乎沒有塵埃顆粒的環境。然而，無塵室是否真的完全無塵呢？實際上，無塵室並非完全無塵，而是通過嚴格的控制和過濾系統，將空氣中的塵埃顆粒降至極低的水平。
無塵室的等級越高，允許的顆粒數量越少。因此，雖然無塵室不能完全無塵，但它能夠提供極為潔淨的環境，適合敏感的製造和研究過程。
無塵室等級怎麼分？
標準參照國際標準化組織ISO-14644-1
無塵室的等級標準是按照潔淨度判斷，在特定室內範圍的微粒數量和大小，使其達到特定潔淨水平的空間。主要參考國際標準化組織ISO-14644-1及美國聯邦標準Fed-Std-209E(此標準於2001年廢止)，因此台灣用無塵室等級ISO作為參照。潔淨室的微粒水平會用「cleanliness class」表示，該指標表示每立方米空氣中最大的允許微粒數量。透過落塵測試，判別此無塵室的落塵濃度是否符合該等級標準的方法，每個企業、產品良率對於無塵室規範需求不同，而且無塵室的運行狀態也影響落塵濃度。
ISO-14644-1無塵室分級：
| ISO-14644-1 | Fedeeral-Standard-209E | 每單位空氣量的微塵粒子數上限濃度(顆粒尺寸為0.5µm) |
| ISO 3 | Class 1 | 每1立方英尺不超過1粒 |
| ISO 4 | Class 10 | 每1立方英尺不超過10粒 |
| ISO 5 | Class 100 | 每1立方英尺不超過100粒 |
| ISO 6 | Class 1,000 | 每1立方英尺不超過1,000粒 |
| ISO 7 | Class 10,000 | 每1立方英尺不超過10,000粒 |
| ISO 8 | Class 100,000 | 每1立方英尺不超過100,000粒 |
世界主要無塵室等級對照
| 國際標準 | 無塵等級 | |||||
| ISO 14644-1 | ISO 3 | ISO 4 | ISO 5 | ISO 6 | ISO 7 | ISO 8 |
| 美國FS 209E | Class 1 | Class 10 | Class 100 | Class 1000 | Class 10000 | Class 100000 |
| 英國BS 5295 | C | D | E/F | G/H | J | K |
| 德國 VD I.2083 | 1C | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 |
| 澳洲 AS 1386 | 0.035 | 0.35 | 3.5 | 35 | 350 | 3500 |
| 法國NOR X44101 | — | — | 4000 | — | 4,000 | 4,000,000 |
| Grade(藥品潔淨區等級) | – | A/B | – | C | D | |
Fab 是無塵室嗎？
Fab（意即半導體製造廠）是否屬於無塵室呢？是的！Fab 通常包含多個無塵室，這些無塵室的潔淨度等級根據製造過程的需求而設置。在 Fab 中，無塵室的使用是必須的，因為半導體製造過程對環境潔淨度有極高的要求，任何微小的塵埃顆粒都可能導致產品缺陷，因此 Fab 內的無塵室必須嚴格控制。以下是 Fab 與無塵室的關係：
| Fab 內部區域 | 無塵室等級 |
| 光刻區 | ISO 3 或更高 |
| 蝕刻區 | ISO 4 |
| 裝配區 | ISO 5 |
無塵室的應用領域有哪些？
無塵室的應用領域非常廣泛，涵蓋了許多高科技產業和研究機構。以下是幾個主要應用領域：
- 半導體製造：無塵室是半導體製造過程中不可或缺的一部分，確保晶圓和芯片的高品質。
- 醫藥製造：無塵室用於製藥和生物技術行業，確保藥品和生物製品的純度。
- 航空航天：在航空航天領域，無塵室用於組裝和測試精密儀器和設備。
- 光學製造：無塵室用於生產高精度的光學元件，如鏡片和光纖。
這些應用領域對環境潔淨度有極高的要求，因此無塵室的使用是必不可少的。
如何維護無塵室的潔淨度？
維護無塵室的潔淨度需要多方面的努力，包括設備、流程和人員管理。以下是幾個關鍵點：
- 空氣過濾系統：使用高效過濾器（HEPA）和超高效過濾器（ULPA），過濾空氣中的微小顆粒。
- 嚴格的進出控制：限制人員和物品的進出，減少外界污染源的進入。
- 定期清潔：定期對無塵室進行清潔，使用專門的清潔工具和方法。
- 人員培訓：對無塵室內工作的員工進行培訓，確保他們了解並遵守無塵室的操作規範。
這些措施可以有效維護無塵室的潔淨度，確保其能夠長期穩定運行。
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