高科技或是高潔度的產品與企業,會需要建造高規格的無塵室設備,注意空間內的微塵、濕度、溫度、光線等等,符合無塵室規範,以及潔淨室隔間板的衛生清潔規範也需注意,選擇容易清潔的壁面。而你知道無塵室原理是甚麼嗎?業界討論無塵室等級iso及無塵室等級10000各自代表的意義為何?想知道無塵室等級造價等等相關說明,那就跟著本文看下去吧。
無塵室原理以每立方米的顆粒數計算空間的汙染微塵數
無塵室又稱淨室、潔淨室或清淨室,是指一個具有低汙染水準的環境,這裡所指的汙染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。更準確說明,一個無塵室具有一個受控的汙染級別,汙染級別可用每立方米的顆粒數,或著用最大顆粒大小來釐訂。
無塵室的定義
將空間範圍內的空氣中微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔淨的環境。無塵室被廣泛應用在對環境污染敏感的行業,例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、製藥、和醫院手術室等行業,其中以半導體業對室內的溫度、濕度、潔淨度要求尤其嚴格,必須控制在某範圍內,才不會影響製程。
具備10項因素構成無塵室:
- 去除空氣中飄游之微塵粒子
- 防止產生微塵粒子
- 控制溫度和溼度
- 調節壓力之
- 排除有害氣體
- 結構物與隔間之氣密性
- 防制靜電
- 預防電磁干擾
- 考慮安全因素
- 節能考量
無塵室等級標準參照國際標準化組織ISO-14644-1
無塵室的等級標準是按照潔淨度判斷,在特定室內範圍的微粒數量和大小,使其達到特定潔淨水平的空間。主要參考國際標準化組織ISO-14644-1及美國聯邦標準Fed-Std-209E(此標準於2001年廢止),因此台灣用無塵室等級ISO作為參照。潔淨室的微粒水平會用「cleanliness class」表示,該指標表示每立方米空氣中最大的允許微粒數量。透過落塵測試,判別此無塵室的落塵濃度是否符合該等級標準的方法,每個企業、產品良率對於無塵室規範需求不同,而且無塵室的運行狀態也影響落塵濃度。
以下是無塵室等級ISO-14644-1的對照表格:
ISO-14644-1 | Fedeeral-Standard-209E | 每單位空氣量的微塵粒子數上限濃度(顆粒尺寸為0.5µm) |
ISO 3 | Class 1 | 每1立方英尺不超過1粒 |
ISO 4 | Class 10 | 每1立方英尺不超過10粒 |
ISO 5 | Class 100 | 每1立方英尺不超過100粒 |
ISO 6 | Class 1,000 | 每1立方英尺不超過1,000粒 |
ISO 7 | Class 10,000 | 每1立方英尺不超過10,000粒 |
ISO 8 | Class 100,000 | 每1立方英尺不超過100,000粒 |
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